丁建国跟在旁边,手里拿着一沓厚厚的操作手册。
“陈总,这台二手asml光刻机光源衰减得很厉害。如果强行跑130纳米的极限线宽,边缘曝光肯定会发虚。”丁建国指着前方庞大的机器。
陈欢走到控制台前。
他没有去看那些繁琐的说明书,直接调出底层调试界面。
手指在键盘上快速敲击。
“光源衰减,就增加曝光时间。修改光刻胶的涂布厚度,用多次刻蚀代替单次成型。”陈欢输入一串新的参数。
丁建国看呆了。
这种野路子操作,完全违背了原厂的规范。
“这会大幅度降低生产效率。”丁建国提醒。
“我要的是良品率,不是速度。”陈欢敲下回车键,“启动测试。”
机器发出沉闷的轰鸣声。
硅片在传送带上缓缓移动。
整整一周时间。
陈欢吃住全在车间里。
掩膜版的对准、刻蚀液的浓度、清洗晶圆的温度。
每一个环节,陈欢都亲自上手调试。
他凭借着超越这个时代十几年的芯片制造经验,硬生生把这条老旧生产线的潜能榨干到了极限。
第一批晶圆下线。
切割,封装。
十颗黑色的芯片摆在测试台上。
表面印着“伏羲一号”的拼音缩写。
丁建国拿镊子夹起第一颗芯片,卡入测试主板的插槽。
按下电源键。
滴。
屏幕亮起,成功进入系统。
“跑分软件启动。”陈欢下达指令。
丁建国点击鼠标。
仪表盘上的指针开始飙升。
所有人都屏住呼吸,紧紧盯着屏幕上的温度监控曲线。
130纳米制程带来的巨大漏电率,
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