在厂区里停稳,陈欢推开车门走下来,手里稳稳提着那个银色的恒温箱。
丁建国跑下台阶,激动的目光死盯在那个恒温箱上,仿佛里面装着的是能起死回生的仙丹。
“陈总,光刻机已经完成了热机,所有的刻蚀液和清洗设备全部就位,就等您这锅米下锅了。”
赵岩在一旁搓着手,语气里带着几分忐忑。
“陈总,国产材料第一次上这么先进的设备,需不需要先切一块废料进去走个过场测试一下边缘良率。”
陈欢大步走向更衣室,声音在空旷的走廊里回荡。
“直接上真晶圆,时间不够我们去磨洋工,一次定生死。”
无尘车间内,刺目的蓝紫光源透过观测窗打在众人的防护服上,空气净化系统发出低沉的嗡鸣。
林学东提纯出来的那批淡黄色光刻胶被小心翼翼地注入涂胶机的储液罐里,粘稠的液体顺着精密的管线缓缓流向核心操作区。
十二英寸的硅晶圆在机械臂的夹持下平稳滑入轨道,高速旋转的托盘将光刻胶均匀地甩成一层纳米级厚度的薄膜。
所有人都屏住呼吸,盯着显示屏上不断滚动的进度条,整个车间里安静得只能听到机器液压杆起落的细微声响。
曝光,显影,刻蚀,去胶。
一连串极其繁杂的物理化学反应在极紫外光源的高能照射下迅速完成,机械臂托着第一批完成布线的晶圆退出了操作舱。
赵岩戴着两层防静电手套,小心翼翼地夹起一片晶圆,走到旁边那台高倍率电子显微镜前,将硅片放在载物台上调好焦距。
丁建国紧张得不敢凑上前,只能站在两米开外的地方,双手合十在胸前不停地揉搓。
陈欢站在操作台前,目光越过赵岩的肩膀,落在电子显微镜连接的液晶显示屏上。
屏幕上的画面经过成千上万倍的放大,清晰地呈现出芯片内部复杂如迷宫般的
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