东莞市人民医院,特需病房。
陈欢靠在床头,拔掉了手背上的输液针。
赵红梅站在一旁,手里端着温水,眼眶的红肿还没褪去。
“红梅,备车。”陈欢掀开被子,双脚落地。
“你疯了!”赵红梅一把按住他的肩膀,“靶向药刚建立血药浓度,你现在连站稳都费劲!”
“无锡那边光刻机重新校准需要口令。”陈欢推开她的手,抓起搭在椅背上的外套,“五纳米的底板上了机,我必须在现场。”
病房门被推开。马海大步走进来,手里攥着车钥匙。
“欢哥,直升机在医院顶楼停机坪。”马海没劝,他太了解陈欢。
陈欢点头,穿上外套。
赵红梅没再拦。她转身从柜子里拿出一件厚羽绒服,披在陈欢身上。“我跟你去。”
无锡,江南微电子。
一号无尘车间。黄光区内,那台asml极紫外光刻机静静矗立。
梁秋穿着防静电服,双眼布满血丝,死死盯着主控屏幕。
“光路校准偏差0.002纳米。”丁建国站在旁边,声音发干,“陈总还没到,这参数谁敢拍板?”
车间气闸门“嗤”地一声打开。
陈欢走进来。脚步有些虚浮,但脊背挺得笔直。
梁秋猛地回头,眼底闪过狂喜:“陈总!”
陈欢没废话,径直走到主控台前。他扫了一眼屏幕上的参数。
“透镜组温度补偿拉高两度。”陈欢双手撑在操作台上,“铪基材料的吸光率比硅基高,光路偏差0.002纳米在公差允许范围内。开机。”
丁建国咽了口唾沫,重重按下绿色的启动键。
极紫外光源亮起。
肉眼不可见的高能光束,穿透蔡司透镜组,精准打在涂满光刻胶的晶圆上。
车间里只剩下机器低沉的轰
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