晶圆残骸。旁边，还有几块呈现出诡异紫色的光学镜片碎片。
“这是什么？”马海凑过去看。
“3纳米。”丁建国咬着牙，吐出几个字，“咱们联合上海微电子，刚组装起来的国产下一代3纳米极紫外光刻机核心光路组件。”
陈欢目光一凝。
3纳米制程，是硅基芯片的物理极限，也是宏业下一步要在全球半导体领域实施绝杀的核心武器。
“怎么碎了？”陈欢问。
“光刻胶纯度达标了，光源功率也拉满了。但是在进行极限曝光测试的时候……”丁建国揪住自己的头发，“光路崩了。镜片材料根本承受不住那种级别的超高频能量照射。直接在物理层面发生解体。”
丁建国抬起头，满脸绝望。
“陈总，现有的工业体系到头了。”
丁建国指着那堆碎片。
“材料学专家看过了。在3纳米的微观尺度下，硅原子的电子发生了严重的量子隧穿效应。光刻机的镜片材料如果不改变底层分子结构，根本压不住这种量子干涉。传统的冶炼和化工手段，全废了。”
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